关键词：智能制造；晶圆制造薄膜车间；对象Petri网；人工势场； A^* 算法；调度优化中图分类号：TP273.5 文献标志码：A 文章编号： 1000-5013（2026）02-0127-09

Object Petri Net and Artificial Potential Field Sc（试读）...