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管式PECVD设备源柜的空间布局设计与优化-太阳能2025年09期

管式PECVD设备源柜的空间布局设计与优化

作者:朱辉 范子彦 田安 黄心沿 字体:      

中图分类号:TM615 文献标志码:A

0引言

随着传统能源日益短缺,太阳能、风能、生物质能等可再生能源受到越来越多的关注[1]。光伏发电技术作为重要的太阳能利用方式得到了广泛应用[2。光伏组件是光伏发电系统的核心部(试读)...

太阳能

2025年第09期