• 简体   /   繁体
基于VisionTransformer的混合型晶圆图缺陷模式识别-现代信息科技2025年19期

基于VisionTransformer的混合型晶圆图缺陷模式识别

作者:李攀 娄莉 字体:      

中图分类号:TN305;P391.4 文献标识码:A 文章编号:2096-4706(2025)19-0026-05

Abstract:Wafer testingisanimportantpartof thechipproductionproces.The identificationandclasifcationof wafer mapdefectpate(试读)...

现代信息科技

2025年第19期