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光谱共焦传感器光轴与被测平板间垂直度误差校准方法-中国测试2025年06期

光谱共焦传感器光轴与被测平板间垂直度误差校准方法

作者:彭秋然 吴运权 周鹏 卢文龙 字体:      

中图分类号:TB9;TQ420.5 文献标志码:A 文章编号:1674-5124(2025)06-0081-08

Calibration method for verticality error between the optical axis of a spectral confocal sensor and the measured flat plate

(试读)...

中国测试

2025年第06期