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磁控溅射镀膜电源模糊PI-超螺旋滑模混合控制研究-中国测试2026年02期

磁控溅射镀膜电源模糊PI-超螺旋滑模混合控制研究

作者:薛家祥 张博伟 金礼 字体:      

中图分类号:TB9;TM46 文献标志码:A 文章编号:1674-5124(2026)02-0135-10

Abstract:In order to address the poor disturbance rejection and slow response speed inherent in the conventional dual-loop PI (试读)...

中国测试

2026年第02期