关键词：MEMS；气体电离；工频电场

中图分类号：TM937.1 文献标志码：A 文章编号：1671-0797（2026）06-0035-04

D0l：10.19514/j.cnki.cn32-1628/tm.2026.06.009

0 引言

近年来，我国“十四五"规划推进、“双碳"政策（试读）...